ቻይና ብጁ ርካሽ የኦሪጂናል ዕቃ አምራች ካልሲየም ፍሎራይድ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ኪሳራ ሉላዊ መስታወት አምራቾች ፣አቅራቢዎች ፣ፋብሪካ

ካልሲየም ፍሎራይድ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ኪሳራ ሉላዊ መስታወት፡ ለቀጣይ-ጄን መተግበሪያዎች ትክክለኛ ኦፕቲክስ

እያንዳንዱ ፎቶን ሲቆጠር, የእኛ ካልሲየም ፍሎራይድ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ኪሳራ ሉላዊ መስታወት እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የአልትራቫዮሌት (EUV) ሊቶግራፊ፣ አልትራፋስት ሌዘር እና ትክክለኛ የኦፕቲካል ሲስተሞች ውስጥ ተወዳዳሪ የሌለው አፈጻጸም ያቀርባል። በ 99.99% ንፅህና በተሰራው CaF₂ የተገነቡ እነዚህ መስተዋቶች የብርሃን ብክነትን ወደ <10 ፒፒኤም ይቀንሳሉ እና መዋቅራዊ ንፁህነትን በከፍተኛ ሃይል irradiation ይጠብቃሉ። ቺፕ ማምረቻን እያሳደጉም ይሁን የሌዘር ፊዚክስን ገደብ እየገፉ፣ የእኛ መስተዋቶች ለተልዕኮ ወሳኝ አፕሊኬሽኖች ንዑስ ናኖሜትር የገጽታ ትክክለኛነት እና የሙቀት መረጋጋት (± 5 ppb/K) ይሰጣሉ።

መስታወቶቻችን ለምን ጎልተው ይታያሉ

እጅግ በጣም ዝቅተኛ መምጠጥ፡ 99.999% አንፀባራቂነትን በ13.5 nm የሞገድ ርዝመት ማሳካት፣ የኢነርጂ ብክነትን እና የሙቀት መዛባትን በመቀነስ፣ ለ EUV ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ወሳኝ ሲሆን ጥቃቅን መምጠጥ እንኳን የዋፈር አሰራርን ይረብሸዋል፣ ይህም ከፍተኛ ትክክለኛ የሊቲግራፊ ሂደቶች ውስጥ ቀልጣፋ የፎቶን አጠቃቀምን ያረጋግጣል።
የሙቀት መረጋጋት፡ የ ± 0.01% ልኬት ትክክለኛነትን በ 100 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ እንኳን ማቆየት ፣ ለከፍተኛ ኃይል EUV ሊቶግራፊ መሳሪያዎች ተስማሚ ፣ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስመሮች ውስጥ አለመግባባቶችን በመከላከል የሙቀት መጠኖች ናኖሚካል የወረዳ ማተምን ሊጎዱ ይችላሉ ፣ ይህም በሙቀት-ተኮር ስራዎች ውስጥ ተከታታይ አፈፃፀምን ያረጋግጣል።
Nanoscale Precision፡ የገጽታ ሸካራነት <0.12 nm Ra (በዚጎ ፕሮፊሎሜትር የተፈተነ) አነስተኛ የተበታተነ ኪሳራዎችን ያረጋግጣል፣ ለ EUV ኦፕቲክስ እና ኳንተም የግንኙነት ሥርዓቶች በጣም አስፈላጊ የሆኑ የተበታተኑ ፎቶኖች የምልክት ትክክለኛነትን የሚቀንሱ ሲሆን ይህም ለላቁ የኦፕቲካል አፕሊኬሽኖች ከሚያስፈልገው ትክክለኛነት ጋር ይዛመዳል።
ሊበጁ የሚችሉ ዲዛይኖች፡ ከ φ12.7mm እስከ φ100mm ዲያሜትሮችን ምረጥ፣ ከጠመዝማዛ ራዲየስ (500–8000ሚሜ) ለኦፕቲካል ማቀናበሪያህ የተበጀ፣ ከሁለቱም የታመቀ የላብራቶሪ መሣሪያዎች እና ትላልቅ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሣሪያዎች ጋር ያለችግር የሚገጣጠም፣ ከተለያዩ የቴክኒክ መስፈርቶች ጋር የሚስማማ።

ግቤቶች

የልኬት	ዝርዝር
ልኬቶች	D=φ12.7-φ50.8mm（tolerance±0.1），H=4-8mm D:H＞4:1(tolerance±0.5） 2）D50.8-φ100mm（tolerance±0.1），H=10-25mm D:H＞4:1(tolerance±0.5）
ሽፋን አካባቢ	ሊበጅ የሚችል (መደበኛ፡ D12.7ሚሜ፣ 7.5ሚሜ አካባቢ፤ D25ሚሜ፣ 10ሚሜ አካባቢ)
የወለል ትክክለኛነት	λ/10 @ 632.8nm
ትይዩ ስህተት	<10 "
ጎበጥ	SR=500-8000(ያብጁ)፣የጥምዝ ትክክለኛነት ± 0.05%
ሻካራነት	Ra0.12nm (Zygo profilometer) የሙከራ ቦታ 173*173um ሙሉ ድግግሞሽ መለኪያ
ነጸብራቅ	≥99.999% (420nm-3000nm)
ኪሳራ	2-6 ፒ
የኤሌክትሪክ ኃይል ማስተላለፍ	3-5 ፒ
እቃዎች	ካልሲየም ፍሎራይድ
በተጠቃሚው ፍላጎት መሰረት ሊበጅ ይችላል።

ማሳሰቢያ፡ ዝርዝር መግለጫዎች ለእርስዎ ልዩ ፍላጎቶች ሊበጁ ይችላሉ።

ምርት-1-1

ቁልፍ መተግበሪያዎች

EUV Lithography፡ የሙቀት መንሸራተትን እና ብክለትን ከሚቃወሙ መስተዋቶች ጋር ንዑስ-7nm ቺፕ ማምረትን ያንቁ፣ 99.999% አንጸባራቂነት በ13.5nm እና ±0.01% መረጋጋት በ100°C በመጠቀም ትክክለኛ የፎቶን መንገዶችን ለመጠበቅ፣ ጥቃቅን ወረዳዎችን ከሙቀት ወይም ጥፋት ሳይዛባ ንድፍ ለማውጣት ወሳኝ።
Femtosecond Lasers፡ በ nanoscale ትክክለኛነት (የገጽታ ሸካራነት <0.12nm Ra)፣ የልብ ምት ቅርጻቸውን እና ጉልበታቸውን እንዲይዙ በማድረግ በአልትራፋስት ሌዘር ጉድጓዶች ውስጥ የልብ ምት መዛባትን ይቀንሱ - ይህ ስርጭትን ይቀንሳል፣ እንደ ማይክሮማቺኒንግ እና ስፔክትሮስኮፒ ላሉ አፕሊኬሽኖች በጣም አስፈላጊ የሆነ የልብ ምት ትክክለኛነት ውጤትን ያሳያል።
የሜትሮሎጂ ሲስተምስ፡ የመለኪያ ትክክለኛነትን ከዜሮ የከርሰ ምድር ጉዳት ያሳድጉ፣ ከተበጁ ዲዛይኖች (φ12.7ሚሜ–φ100ሚሜ ዲያሜትሮች) ጋር ተጣምረው ወደ መለካት ውቅሮች ያለችግር ይገጣጠማሉ። እጅግ በጣም ለስላሳ የሆኑት ንጣፎች መበተንን ያስወግዳሉ፣ ንባቦች በቁሳዊ ጉድለቶች የተዛቡ አለመሆናቸውን ያረጋግጣል፣ ለከፍተኛ-ትክክለኛነት መለኪያ ትንተና።

ለአስተማማኝነት የተሰራ

በየ ካልሲየም ፍሎራይድ እጅግ በጣም ዝቅተኛ ኪሳራ ሉላዊ መስታወት ያካሂዳል፡

100% ኢንተርፌሮሜትሪ እና ስፔክትሮስኮፒ ሙከራ፡ የእያንዳንዱን አካል ወለል ጠፍጣፋነት እና የእይታ አፈጻጸምን ያረጋግጡ፣ 99.999% አንጸባራቂነት በ13.5nm እና <0.12nm Ra roughness — ለ EUV lithography mirrors እና femtosecond laser cavities እና ጥቃቅን ልዩነቶች እንኳን ሊያበላሹ የሚችሉ።
የአካባቢ ውጥረት ማስመሰያዎች (የሙቀት ብስክሌት፣ እርጥበት)፡ ከ -50°C እስከ 300°C ማወዛወዝ እና 95% እርጥበታማነት የገሃዱ ዓለም ሁኔታዎችን ለመምሰል የሚገዙ አካላት፣ በ EUV መሣሪያዎች እና በስነ-መለኪያ ስርዓቶች ውስጥ በተለያዩ የኢንዱስትሪ ወይም የላቦራቶሪ አካባቢዎች የአፈጻጸም ውድመት ሳይኖር መረጋጋትን ማረጋገጥ።
የሶስተኛ ወገን ማረጋገጫ ለሴሚአይ እና ISO 9001 ተገዢነት፡- ገለልተኛ ኦዲቶች ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ደረጃዎችን (ሴሚ) እና የጥራት አስተዳደር ስርዓቶችን (አይኤስኦ 9001) መከበራቸውን ያረጋግጣሉ፣ ይህም ለአውቶሞቲቭ እና ለኤሮስፔስ ደንበኞች አካላት ጥብቅ አስተማማኝነት እና ለከፍተኛ ትግበራዎች ወጥነት ያለው መስፈርቶችን እንደሚያሟሉ ማረጋገጫ ይሰጣል።